| Обозначение | ОСТ3-6295-87 |
| Заглавие на русском языке | Растры и модуляторы на кристаллических подложках. Типовые технологические процессы изготовления |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.07.1988 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 33.120 |
| Код КГС | Т53 |
| Код ОКСТУ | 0003 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 591317 |
| Ключевые слова | приборы оптические - детали - производство;технологические процессы;растры на кристаллических подложках;модуляторы на кристаллических подложках;оптическое приборостроение;технологические процессы |
| Вид требований | Документ зарегистрирован без экспертного заключения |
| Обозначение заменяемого(ых) | РТМ3-1198-79 |
| Количество страниц (оригинала) | 36 |
| Примечание | |
 |