Обозначение | ISO 14644-14:2016 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации аэрозольных частиц |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration |
Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 14.09.2016 |
Количество страниц оригинала | 28 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает методику оценки пригодности оборудования (например, технологического оборудования, контрольно-измерительных приборов, частей и инструментов) к использованию в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых зонах по концентрации аэрозольных частиц в соответствии с ИСО 14644-1. Размер частиц находится в пределах от 0,1 мкм до 5 мкм согласно ИСО 14644-1.
ПРИМЕЧАНИЕ В случае установления надзорными органами дополнительных руководств или ограничений может потребоваться адаптация методов оценки.
Данный стандарт не рассматривает:
— оценку пригодности по биозагрязнениям;
— оценку пригодности средств и методов очистки;
— оценку пригодности оборудования и материалов к очистке;
— требования к конструкции оборудования и выбору материалов;
— физические свойства материалов (например, например, электростатические и тепловые свойства);
— оптимизацию работы оборудования для специальных областей применения;
— выбор и использование статистических методов испытаний;
— требования к локальным правилам безопасности. |
Количество страниц перевода | 28 |
Код цены | D |
Примечание | |
![](/i/imgs/sp.gif) |