| Обозначение | IEC 62047-32(2019) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 32. Метод определения нелинейных колебаний резонаторов микроэлектромеханических систем (MEMS) |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 24.01.2019 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 37 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |