Обозначение | IEC 62047-36(2019) |
Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 36. Климатические испытания и испытания диэлектрической прочности пьезорезистивных тонких пленок микроэлектромеханических систем (MEMS) |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 36: Environmental and dielectric withstand test methods for MEMS piezoelectric thin films |
МКС | 31.080.99; 31.140 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 05.04.2019 |
Язык оригинала | английский |
Количество страниц оригинала | 16 |
ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | D |
|