Информационная продукция. каталогиГОСТ, ГОСТ РГОСТ 5.2105-73
ВойтиВойти ЗарегистрироватьсяРегистрация
ПоискПоиск КорзинаКорзина (0)

Классификаторы: ОКС | КГС | Все стандарты

ГОСТ 5.2105-73

ГОСТ 5.2105-73 Версия для печатина печать
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

ГОСТ 5.2105-73На русском языкеПоложить в корзину ГОСТ 5.2105-73
Заказать перевод

Библиография

ОбозначениеГОСТ 5.2105-73
Полное обозначениеГОСТ 5.2105-73
Заглавие на русском языкеМикроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Заглавие на английском языкеLaser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата введения в действие01.09.1973
Дата огр. срока действия
ОКС31.260
Код ОКП443500
Код КГСЭ72
Код ОКСТУ6687
Индекс рубрикатора ГРНТИ 5929
Аннотация (область применения)Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Ключевые слова
Термины и определения
Наличие терминов РОСТЕРМ
Вид стандартаСтандарты на продукцию (услуги)
Вид требований
Дескрипторы (английский язык)
Обозначение заменяемого(ых)
Обозначение заменяющего
Обозначение заменяемого в части
Обозначение заменяющего в части
Гармонизирован с:
Аутентичный текст с ISO
Аутентичный текст с IEC
Аутентичный текст с ГОСТ
Аутентичный текст с прочими
Содержит требования: ISO
Содержит требования: IEC
Содержит требования: СЭВ
Содержит требования: ГОСТ
Содержит требования: прочими
Нормативные ссылки на: ISO
Нормативные ссылки на: IEC
Нормативные ссылки на: ГОСТ
Документ внесен организацией СНГ
Нормативные ссылки на: Прочие
Документ принят организацией СНГ
Номер протокола
Дата принятия в МГС
Присоединившиеся страны
Управление Ростехрегулирования220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении
Технический комитет России
Разработчик МНДРоссийская Федерация
Межгосударственный ТК
Дата последнего издания 04.10.1973
Номер(а) изменении(й)
Количество страниц (оригинала)13
Организация - Разработчик
СтатусДействует
Код цены2
На территории РФ пользоваться
Отменен в части
Номер ТК за которым закреплен документ303
Номер приказа о закреплении документа за ТК217
Дата приказа о закреплении документа за ТК31.01.2023

Стандарт ГОСТ 5.2105-73 входит в рубрики классификатора:


 
 

Цены
На русском языке 811,20

Этот документ входит в сборники
Сборник ГОСТ, группа 31 "ЭЛЕКТРОНИКА"
Полнотекстовая база данных документов национальной системы стандартизации ГОСТ, ГОСТ Р, РСТ, ПР, Р, РМГ, ПМГ
Сборник ГОСТ, группа 31 "ЭЛЕКТРОНИКА"
Полнотекстовая база данных ГОСТ (ГОСТ, ГОСТ Р)

  вопросы пользователей


Вы предлагаете обновленные версии нормативных документов?
Как искать?
Как приобрести ОСТ и ТУ?
Может ли частное лицо получить ГОСТы?

Федеральное государственное бюджетное учреждение «Российский институт стандартизации»:  Регистрация | О Федеральном государственном бюджетном учреждении «Российский институт стандартизации» | Корзина | Контакты | Моя страница | Вопросы пользователей | Помощь | Новости | Карта сайта

Каталоги:   Годовые указатели | «Общероссийские классификаторы технико экономической и социальной информации» | Тематический план | Тематический план | Указатели аналоги бумажной версий - формат .pdf | Измерительная техника | СТБ, ГОСТ. Годовой доступ по сети Интернет | Тематический сборник по качеству | Журналы Метрология и Измерительная техника (формат pdf) | UNIFE | Подписные издания | Республика Казахстан | СТБ, ГОСТ | ИСО | Подписка к ежемесячным указателям 2024 года (защищенный формат, только для просмотра) | Подписка к годовым указателем 2024 года (защищенный формат, только для просмотра) | МЭК | ГОСТ, ГОСТ Р | ONORM | ТУ | Готовится к изданию | ОСТ | *Обновление к годовым указателям 2023 года (защищенный формат, только для просмотра) | DIN | *Обновление на ежемесячные указатели 2023 года (защищенный формат, только для просмотра) | Общесоюзные стандарты | Авторская, научная, информационная, справочная литература (формат pdf) | Р, ПР, РД | ФАО/ВОЗ | Общероссийские классификаторы | BS | СП | Сборники стандартов (формат pdf) | KOR | ASTM | GB/T

Услуги:   Предоставление международных стандартов и стандартов иностранных государств | Предоставление документов по стандартизации оборонной продукции (ДСОП) и национальных стандартов ограниченного распространения (НСОР) | Абонементное обслуживание | Стандарты прямого применения | Доступ по сети интернет к ИС «Таможенный союз. Техническое регулирование» | Подписка на Указатели | Перевод стандартов | Общероссийские классификаторы технико-экономической и социальной информации | Услуги по регистрации каталожных листов продукции

Издательская продукция:   Издательская продукция. Анонс