 |
 |
|
|
|
|
|
|
|
расширенный поиск | карта сайта |
|
|
|
IEC 62047-16(2015) |  на печать | | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины |
|
| | Библиография | Обозначение | IEC 62047-16(2015) | | Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины | | Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods | | МКС | 31.080.99 | | Вид стандарта | ST | | Дата опубликования | 05.03.2015 | | Язык оригинала | английский;французский | | Количество страниц оригинала | 26 | | ТК – разработчик стандарта | SC 47F | | Номер издания | 1.0 | | Статус | Действует | | Код цены | C | |
| | Стандарт IEC 62047-16(2015) входит в рубрики классификатора:
| | |
| |
|
|
|
| Цены |
| На языке оригинала |
7488,00
|
|
|
|