 |
 |
|
|
|
|
|
|
|
расширенный поиск | карта сайта |
|
|
|
ISO 21466:2019 |  на печать | | Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM |
|
| | Библиография | Обозначение | ISO 21466:2019 | | Статус | Действует | | Вид стандарта | ST | | Заглавие на русском языке | Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM | | Заглавие на английском языке | Microbeam analysis Scanning electron microscopy Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM | | Код КС (ОКС, МКС) | 37.020 | | ТК – разработчик стандарта | TC 202/SC 4 | | Язык оригинала | английский | | Номер издания | 1 | | Дата опубликования | 13.12.2019 | | Количество страниц оригинала | 54 | | Код цены | F | | Примечание | | |
| | Стандарт ISO 21466:2019 входит в рубрики классификатора:
| | |
| |
|
|
|
| Цены |
| На языке оригинала |
33134,00
|
|
|
|