| Обозначение | ISO/TR 22335:2007 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение скорости напыления: метод сетчатой реплики с применением механического матричного профилометра |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 02.07.2007 |
| Количество страниц оригинала | 26 |
| Код цены | C |
| Примечание | |
 |