| Обозначение | IEC 62047-1(2005) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 1. Термины и определения |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяющего | IEC 62047-1(2016) |
| Дата опубликования | 06.10.2005 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 52 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47 |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Заменен |
| Код цены | |
 |