| Обозначение | IEC 62047-3(2006) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 3. Тонкопленочные стандартные образцы для испытаний на растяжение |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 17.08.2006 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 18 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47 |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | B |
 |