| Обозначение | DIN EN 62047-1-2006 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 1. Термины и определения |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006 |
| Дата опубликования | 01.10.2006 |
| МКС | 01.040.31*31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-1(2003-10) |
| Обозначение заменяющего | DIN EN 62047-1(2016-12) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 28 |
| Перекрестные ссылки | |
| Код цены | Preisgruppe 15 |
 |