| Обозначение | DIN 50452-2-1991 |
| Заглавие на русском языке | Жидкости для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа. Определение с применением оптического счетчика |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters |
| Дата опубликования | 01.03.1991 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50452-2(1989-12) |
| Обозначение заменяющего | DIN 50452-2(2009-10) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 4 |
| Перекрестные ссылки | ASTM F 658(1987)*ASTM F 1226(1989)*VDI 2083 Blatt 1(1991-03)(Draft) |
| Код цены | Preisgruppe 5 |
 |