DIN 32566-2007
Оборудование для производства микросистем. Опорное кольцо шаблона для рентгеновской литографии. Технические условия
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
DIN 32566-2007
Заглавие на русском языке
Оборудование для производства микросистем. Опорное кольцо шаблона для рентгеновской литографии. Технические условия
Заглавие на английском языке
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring
Дата опубликования
01.12.2007
МКС
31.020*37.020
Вид стандарта
ST
Язык оригинала
немецкий
Количество страниц оригинала
9
Перекрестные ссылки
DIN EN ISO 1101(2006-02)*DIN EN ISO 8734(1998-03)
Код цены
Preisgruppe 8
Стандарт DIN 32566-2007 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ ЭЛЕКТРОНИКА \ Электронные компоненты в целом * Магнитные компоненты см. 29.100.10 \
ОКС \ ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ \ Оптическое оборудование *Включая микроскопы, телескопы, бинокли, оптические материалы, оптические компоненты и оптические системы *Офтальмологическое оборудование см. 11.040.70 *Оптические измерительные приборы см. 17.180.30 *Линзы для фотографической аппаратуры см. 37.040.10 \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/4175614.aspx