| Обозначение | IEC 62047-4(2008) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 04.09.2008 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 42 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |