| Обозначение | IEC 62047-6(2009) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 16.04.2009 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 34 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |