| Обозначение | ISO 14237:2010 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14237:2000 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 09.07.2010 |
| Количество страниц оригинала | 26 |
| Код цены | D |
| Примечание | |
 |