| Обозначение | IEC 62047-8(2011) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 14.03.2011 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 40 |
| ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |