| Обозначение | DIN EN 62047-13-2012 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 13. Методы измерения прочности сцепления при испытании на изгиб и сдвиг микроэлектромеханических структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012); German version EN 62047-13:2012 |
| Дата опубликования | 01.10.2012 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-13(2010-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 17 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-2(2006-08) |
| Код цены | Preisgruppe 14 |
 |