Библиография | Обозначение | ISO 16413:2013 | | Статус | Заменен | | Вид стандарта | ST | | Заглавие на русском языке | Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных | | Заглавие на английском языке | Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry -- Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting | | Дата отмены | 14.08.2020 00:00:00 | | Код КС (ОКС, МКС) | 35.240.70; 71.040.40 | | Обозначение заменяющего | ISO 16413:2020 | | ТК – разработчик стандарта | TC 201 | | Язык оригинала | английский | | Номер издания | 1 | | Дата опубликования | 12.02.2013 | | Количество страниц оригинала | 38 | | Код цены | E | | Примечание | |  |
|