| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-4:2011 05 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008) (german version) |
| Код МКС | 31.080.99 |
| Дата опубликования | 01.05.2011 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |