| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-13:2012 11 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 13. Методы измерения прочности сцепления при испытании на изгиб и сдвиг микроэлектромеханических структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012) (german version) |
| Код МКС | 31.080.99 31.080.01 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.11.2012 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |