| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-11:2014 06 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 11. Метод испытания на коэффициенты линейного теплового расширения автономного материала для микроэлектромеханических систем |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013) (german version) |
| Код МКС | 31.080.99 31.080.01 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.06.2014 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |