| Обозначение | OVE/ONORM EN 60204-33:2011 12 01 |
| Заглавие на русском языке | Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию |
| Заглавие на английском языке | Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 60204-33:2009, modified) (german version) |
| Код МКС | 13.110 25.040.30 29.020 |
| Дата опубликования | 01.12.2011 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |