| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-14:2012 11 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012) (english version) |
| Код МКС | 31.080.99 31.080.01 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.11.2012 |
| Язык оригинала | английский |
 |