| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-18:2014 06 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 18. Метод испытания на изгиб тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials (IEC 62047-18:2013) (english version) |
| Код МКС | 31.080.99 31.080.01 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.06.2014 |
| Язык оригинала | английский |
 |