| Обозначение | ONORM EN ISO 14644-9:2012 11 01 |
| Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9: Классификация воздушных молекулярных примесей |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012) |
| Код МКС | 13.040.35 |
| Дата опубликования | 01.11.2012 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |