| Обозначение | DIN 32567-4-2015 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 4. Образцы для оптических методов |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures |
| Дата опубликования | 01.06.2015 |
| МКС | 39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32567-4(2014-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 13 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32564-1(2004-05)*DIN 32567-1(2015-06)*DIN 32567-2(2014-10)*ISO 8255-1(2011-04) |
| Код цены | Preisgruppe 9 |
 |