| Обозначение | DIN 32567-5-2015 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 5. Вывод значений коррекции для оптических измерительных приборов |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices |
| Дата опубликования | 01.06.2015 |
| МКС | 39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32567-5(2014-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 18 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32564-1(2004-05)*DIN 32567-1(2015-06)*DIN EN ISO 25178-602(2011-01)*DIN EN ISO 25178-603(2014-02)*DIN EN ISO 25178-604(2013-12)*DIN EN ISO 25178-605(2014-06)*VDI/VDE 2655 Blatt 1.2(2010-10) |
| Код цены | Preisgruppe 11 |
 |