| Обозначение | DIN 32567-1-2015 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 1. Количественная оценка материалов и конкретные виды влияния |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences |
| Дата опубликования | 01.06.2015 |
| МКС | 39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32567-1(2014-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 19 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32564-1(2004-05)*DIN EN ISO 3274(1998-04)*DIN EN ISO 25178-2(2012-09)*DIN EN ISO 25178-6(2010-06)*DIN EN ISO 25178-601(2011-01)*DIN EN ISO 25178-602(2011-01)*DIN EN ISO 25178-603(2014-02)*DIN EN ISO 25178-604(2013-12)*DIN EN ISO 25178-605(2014-06)*DIN EN ISO 25178-606(2013-02)(Draft)*VDI/VDE 2602(1983-09)*VDI/VDE 2617 Blatt 12.1(2011-03)*VDI/VDE 2629 Blatt 1(2008-08)*VDI/VDE 2629 Blatt 2(2012-06)*VDI/VDE 2655 Blatt 1.1(2008-03)*VDI/VDE 2655 Blatt 1.2(2010-10)*VDI/VDE 2656 Blatt 1(2008-06) |
| Код цены | Preisgruppe 11 |
 |