| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-22:2015 06 01 |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 22. Метод испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates (IEC 62047-22:2014) (english version) |
| Код МКС | 01.080.99 31.080.01 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.06.2015 |
| Язык оригинала | английский |
 |