| Обозначение | IEC/IEEE 62659(2015) |
| Заглавие на русском языке | Нанопроизводство. Крупносерийное производство наноэлектроники |
| Заглавие на английском языке | Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics |
| МКС | 07.030, 25.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 30.09.2015 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 113 |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |