| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-17:2016 02 01 |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 17. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Метод испытания на вспучивание для измерения механических свойств тонких пленок |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015) (german version) |
| Код МКС | 31.080.01 31.080.99 31.220.01 |
| Дата опубликования | 01.02.2016 |
| Язык оригинала | немецкий |
 |