| Обозначение | DIN EN ISO 14644-2-2016 |
| Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Текущий контроль для подтверждения постоянного соответствия чистоты воздуха по концентрации частиц |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015 |
| Дата опубликования | 01.05.2016 |
| МКС | 13.040.35 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает минимальные требования к текущему контролю чистых помещений и чистых зон в отношении чистоты воздуха по концентрации частиц, основываясь на параметрах, которые показывают или влияют на концентрацию переносимых по воздуху частиц.
Настоящая часть ISO 14644 не устанавливает требования к текущему контролю таких факторов, как вибрация или общее техническое обслуживание инженерных систем. Он не распространяется на текущий контроль концентрации частиц с размерами, меньшими пороговых размеров от 0,1 до 5,0 мкм.
Концентрации ультрамелких частиц (с размерами менее 0,1 мкм) будут рассмотрены в других частях этого ряда стандартов. |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN ISO 14644-2(2001-02)*DIN EN ISO 14644-2(2014-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 22 |
| Количество страниц перевода | 23 |
| Перекрестные ссылки | ISO 14644-1(2015-12)*ISO 14644-3(2005-12)*ISO 14644-4(2001-04)*ISO 14644-12*ISO 21501-4(2007-05)*ISO 31000(2009-11) |
| Код цены | Preisgruppe 12 |
 |