| Обозначение | DIN 50441-5-2001 |
| Заглавие на русском языке | Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров.Часть 5. Термины, касающиеся отклонения от формы и плоскостности |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation |
| Дата опубликования | 01.04.2001 |
| МКС | 01.040.29*29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50441-5(1998-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 11 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50441-1(1996-07)*DIN 50441-3(1985-09)*ASTM F 534(1997)*ASTM F 657(1992)*ASTM F 1451(1992) |
| Код цены | Preisgruppe 8 |
 |