| Обозначение | DIN EN 62047-11-2014 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 11. Метод испытания на коэффициенты линейного теплового расширения автономного материала для микроэлектромеханических систем |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013 |
| Дата опубликования | 01.04.2014 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-11(2010-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 21 |
| Перекрестные ссылки | ASTM E 228(2011)*ASTM E 289(2004)*ASTM E 831(2006)*IEC 62047-3(2006-08) |
| Код цены | Preisgruppe 15 |
 |