| Обозначение | DIN EN 62047-6-2010 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов
|
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009); German version EN 62047-6:2010 |
| Дата опубликования | 01.07.2010 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 17 |
| Перекрестные ссылки | ASTM E 466(2007)*ASTM E 1823(2005)*IEC 62047-2(2006-08)*ISO 1099(2006-04)*ISO 6892(1998-03)*ISO 12107(2003-03) |
| Код цены | Preisgruppe 14 |
 |