| Обозначение | DIN 32567-3-2014 |
| Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 3. Выведение корректирующих значений для тактильных измерительных приборов |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices |
| Дата опубликования | 01.10.2014 |
| МКС | 39.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32567-3(2012-07) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 28 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32564-1(2004-05)*DIN 32567-1(Draft)*DIN 32567-2(2014-10)*DIN EN ISO 3274(1998-04)*DIN EN ISO 5436-1(2000-11)*DIN EN ISO 12179(2000-11)*DIN EN ISO 25178-601(2011-01)*VDI/VDE 2617 Blatt 12.1(2011-03)*VDI/VDE 2629 Blatt 1(2008-08)*VDI/VDE 2655 Blatt 1.2(2010-10)*VDI/VDE 2656 Blatt 1(2008-06) |
| Код цены | Preisgruppe 13 |
 |