| Обозначение | ISO 14644-14:2016 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации аэрозольных частиц |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration |
| Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 14.09.2016 |
| Количество страниц оригинала | 28 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает методику оценки пригодности оборудования (например, технологического оборудования, контрольно-измерительных приборов, частей и инструментов) к использованию в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых зонах по концентрации аэрозольных частиц в соответствии с ИСО 14644-1. Размер частиц находится в пределах от 0,1 мкм до 5 мкм согласно ИСО 14644-1.
ПРИМЕЧАНИЕ В случае установления надзорными органами дополнительных руководств или ограничений может потребоваться адаптация методов оценки.
Данный стандарт не рассматривает:
— оценку пригодности по биозагрязнениям;
— оценку пригодности средств и методов очистки;
— оценку пригодности оборудования и материалов к очистке;
— требования к конструкции оборудования и выбору материалов;
— физические свойства материалов (например, например, электростатические и тепловые свойства);
— оптимизацию работы оборудования для специальных областей применения;
— выбор и использование статистических методов испытаний;
— требования к локальным правилам безопасности. |
| Количество страниц перевода | 28 |
| Код цены | D |
| Примечание | |
 |