| Обозначение | DIN SPEC 1994-2017 |
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов для полупроводниковой технологии. Определение анионов в слабых кислотах |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids |
| Дата опубликования | 01.02.2017 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN SPEC 1994(2016-07) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 11 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32645(2008-11)*DIN EN ISO 10304-1(2009-07)*DIN ISO 3696(1991-06)*ISO 8466-1(1990-03) |
| Код цены | Preisgruppe 8 |
 |