| Обозначение | IEC 62047-30(2017) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 30. Методы измерения характеристик электромеханического преобразования пьезоэлектрических тонких пленок MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film |
| МКС | 31.080.99, 31.140 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 15.09.2017 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 24 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |