| Обозначение | IEC 62047-29(2017) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 29. Метод определения электромеханической релаксации отдельных электропроводящих тонких пленок при комнатной температуре |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 22.11.2017 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |