| Обозначение | ISO 18516:2019 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Определение разрешения в поперечном направлении и резкости луча в диапазоне от нанометров до микрометров |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 18516:2006 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 2 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 14.01.2019 |
| Количество страниц оригинала | 60 |
| Код цены | G |
| Примечание | Документ содержит цветные иллюстрацции |
 |