| Обозначение | IEC 62047-31(2019) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 31. Методы испытания на четырех-точечный изгиб слоистых материалов микроэлектромеханических систем (MEMS) для измерения энергии адгезии на поверхности раздела |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 31: Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 05.04.2019 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |