| Обозначение | IEC 62047-36(2019) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 36. Климатические испытания и испытания диэлектрической прочности пьезорезистивных тонких пленок микроэлектромеханических систем (MEMS) |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 36: Environmental and dielectric withstand test methods for MEMS piezoelectric thin films |
| МКС | 31.080.99; 31.140 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 05.04.2019 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |