| Обозначение | IEC 62047-37(2020) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 37. Климатические испытания пьезорезистивных тонких пленок микроэлектромеханических систем (MEMS), используемых в датчиках |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application |
| МКС | 31.080.99, 31.140 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 28.04.2020 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 34 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | E |
 |