| Аннотация (область применения) | Настоящий документ устанавливает три различных метода измерений быстроты действия, и по одному методу измерения степени сжатия, базового давления и наибольшего выпускного давления вакуумного насоса.
Первый метод измерения быстроты действия (метод постоянного потока) является распространенным, постоянный поток газа напускается в насос, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа с достаточной точностью может быть затруднено. По этой причине приведены два других метода, при которых прямое измерение потока газа не используется.
Второй метод измерения быстроты действия (метод двух манометров) обычно используется при небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении перепада давлений в двухкамерной измерительной камере, где две камеры разделены диафрагмой с круглым отверстием.
Третий метод определения быстроты действия (метод постоянного объёма) подходит для автоматизированного измерения. Он базируется на известной зависимости времени вакуумирования объема от параметров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования, величины объема, времени вакуумирования. Различные воздействия, такие как натекание и скорость десорбции, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в соединительной линии между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа при низких давлениях, влияют на измерение давления и, в результате, на быстроту действия.
Выбор необходимых методов измерения зависит от характеристики конкретных типов вакуумных насосов, например, наибольшего выпускного давления необходимо только для вакуумных насосов, который работает с форвакуумным насосом. Все характеристики вакуумного насоса не описанные в настоящем документе (например, измерение потребляемой мощности) определяются в стандарте на конкретный тип насоса. |