| Обозначение | ISO 16531:2020 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для профилирования глубины в AES и XPS |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis Depth profiling Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 16531:2013 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 05.10.2020 |
| Количество страниц оригинала | 26 |
| Код цены | D |
| Примечание | |
 |