BS ISO 14706:2014
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
BS ISO 14706:2014
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Количество страниц оригинала
36
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6790465.aspx