Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6805972.aspx

BS ISO 21859:2019

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment

На языке оригиналаПоложить в корзину
Заказать перевод

Библиография

ОбозначениеBS ISO 21859:2019
Заглавие на английском языкеFine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
Количество страниц оригинала12