| Обозначение | ISO/TR 15969:2021 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Измерение глубины напыления |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis Depth profiling Measurement of sputtered depth |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO/TR 15969:2001 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 17.03.2021 |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Код цены | C |
| Примечание | |
 |